潔凈室（區）性能檢測

3.1通則

3.1.1 潔凈室（區）應定期進行性能測試。以認證潔凈室（區）始終符合本規范的要求。

3.1.2 潔凈室（區）性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。

3.1.3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內。

3.1.4 潔凈室（區）的占用狀態應有空態、靜態、動態，其性能測試和認證宜為靜態或動態。
3.2潔凈室（區）性能測試要求

3.2.1 確認清凈室（區）符合本規范要求，應進行下列基本測試∶

1 空氣潔凈度等級測定；

2 靜壓差；

3 風速或風量。

3.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量認證測試的較長時間間隔應符合。
靜壓差和風速或風量認證的測試要求

注：1潔凈室（區）運行中已對粒子濃度、風速、靜壓差進行連續監測，且其測試值均符合本規范要求時，認證的測試時間間隔可延長，具體時間間隔，可與認證單位洽商。

2 空氣潔凈度等級認證，可在靜態或者動態檢測，洽商確定。

3 風量測定，應采用風速計在風口或風管測定。

3.2.3電子工業潔凈室（區）的認證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量測試外，還應根據需要進行規定的洽商選擇測試項目。
潔凈室測試方法
4.1 風量或風速的測試

1.1 對于單向流潔凈室，應采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，并應取離有效過濾器 300mm 垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應為 600mm×600mm 或末端空氣過濾器尺寸，測點應在柵格心點或不應少于3 點。每一點的測試時間不應少于10s。應記錄平均值、大值和小值，并應以算術平均值作為平均風速。

4.1.2  對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應少于10s。3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量，每個測試位置的測點數不應少于3點。
4.1 風量或風速的測試

4.4潔凈度的檢測

4.1.1 應使用采樣量大于 1 L/min 光學粒子計數器，應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
4.4.4 當潔凈室（區）僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣 3次。
4.5 氣流流型的檢測

4.5.1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。

4.5.2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室（區）的一種污染源。

4.5.3 示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

4.5.4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進行觀察或做成圖像。

4.5.5 應采用圖像處理技術進行氣流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。

4.5.6 氣流目測的測點位置、儀器等，應根據潔凈室（區）的具體條件洽商確定。
4.6溫濕度的檢測

4.6.1 溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室（區）內氣流分布均勻狀態測試，并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經運轉，并應至少穩定運行 1.0h后進行。

4.6.2 相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網格，每格較大面積應為 100m2，應每格—個測點，但每個房間不應少于 2 個測點。

4.6.3 檢測用探測器應設在潔凈室（區）內的工作高度，且距潔凈室（區）的吊頂、墻和地面不應少于 300mm。并應考量潔凈室（區）內 可能存在的熱源的影響。

4.6.4 檢測時間應至少1.0h，并應至少6min 進行 1 次（30s）讀數、記錄。
4.7 噪聲檢測

4.7.1 潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。

4.7.2 潔凈室（區）內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面 1.1～1.5m，距墻應大于 3m；檢測點的布置宜按清凈室（區）面積均分，宜每 100m2設一檢測點。
4.8照度測試

4.8.1 潔凈室（區）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

4.8.2 照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室（區）照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。

4.8.3 照度檢測點應設在工作高度，宜距地面 0.85m，應每 25m2設一個測點。